1、宗潤福先生，1964年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，研究生學歷，工業企業電氣自動化專業，二級研究員，享受國務院政府特殊津貼。宗潤福先生自1988年5月至1993年9月，先后擔任中國科學院沈陽自動化研究所控制工程部工程師、造價組組長；1993年10月至1995年9月，擔任控制工程部副組長；1995年10月至1999年2月，擔任中國科學院沈陽自動化研究所控制工程部主任；1999年3月至2002年11月，擔任中國科學院沈陽自動化研究所科技處處長、室主任；2002年12月至2019年3月，任芯源有限總經理、董事、董事長；自2019年3月至2022年3月，任公司董事長兼總裁。

2、鄭廣文先生，1966年3月出生，中國國籍，無境外永久居留權，本科學歷，技術經濟專業。自2008年6月至2020年10月，于沈陽富創精密設備有限公司擔任董事長；自2020年10月至今，于沈陽富創精密設備股份有限公司擔任董事長；自2015年6月至今，于先進制造擔任執行董事；自2006年5月至2019年3月，任芯源有限董事、董事長；2019年3月至2022年3月，任公司董事。

3、胡琨元先生，1972年7月出生，中國國籍，博士研究生學歷。2006年5月至2011年12月任中國科學院沈陽自動化研究所副研究員、研究員；2012年1月至今，任中國科學院沈陽自動化研究所科技處副處長、處長；自2019年12月起，相繼擔任沈陽中科奧維科技股份有限公司、沈陽聚德視頻技術有限公司、沈陽新合物業有限責任公司、沈陽中科博微科技股份有限公司董事。2020年5月至2022年3月，擔任公司董事。

4、趙慶黨先生，1964年4月出生，中國國籍，無境外永久居留權，本科學歷，計算機技術與應用專業。自1981年10月至1989年7月，為遼寧省軍區司令部戰士；1989年8月至1992年2月，為遼寧省建設投資公司職員；1992年3月至1996年6月，擔任遼寧省公安廳二級警司；1996年7月至2001年4月，擔任遼寧節能公司辦公室副主任；2001年5月至今，先后擔任科發實業副總經理、黨支部書記、董事長兼總經理、執行董事。2016年9月至2019年3月，擔任芯源有限董事；2019年3月至2022年3月，擔任公司董事。

5、孫華先生，1967年9月出生，中國國籍，無境外永久居留權，研究生學歷，工商管理專業，高級工程師。自1996年5月至2000年9月，擔任長江證券投資銀行部員工、副總經理；2000年10月至2006年10月，擔任華資資產管理有限公司總經理；2006年11月至2017年2月，擔任中國科技產業投資管理有限公司總經理；2017年3月至今，擔任中國科技產業投資管理有限公司董事長；兼任國科瑞祺物聯網創業投資有限公司董事長、國科瑞華創業投資企業負責人、北京國科瑞華戰略性新興產業投資基金執行事務合伙人委派代表、中科貴銀（貴州）產業投資基金執行事務合伙人委派代表、深圳市國科瑞華三期股權投資基金合伙企業執行事務合伙人委派代表等。2015年12月至2019年3月，擔任芯源有限董事；2019年3月至2022年3月，擔任公司董事。

6、陳興隆先生，1976年8月出生，中國國籍，研究生學歷，獲博士學位，機械與航空工程專業，高級工程師。2005年10月至2014年1月，于美國應用材料擔任資深工程經理；2014年3月至2017年3月，于韓國三星電子公司生產技術研究所擔任首席工程師；2017年5月至2018年1月，于SEMESAmericaInc.擔任技術創新官；2018年3月至2019年3月，擔任芯源有限副總經理、首席技術官；2019年3月至2022年3月，擔任公司董事、副總裁、首席技術官。自2021年2月起，擔任上海芯源微企業發展有限公司執行董事、法定代表人。

7、朱煜先生，1965年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，博士研究生學歷，機械設計及理論專業。1983年8月至2004年9月任教于中國礦業大學，先后任講師、副教授；2001年7月至2004年9月，于清華大學從事博士后工作；2004年10月至今任清華大學教授；2007年9月至2013年9月任北京七星華創電子股份有限公司獨立董事，2016年10月至2019年12月任北方華創科技集團股份有限公司獨立董事；現任北京華卓精科科技股份有限公司董事、首席科學家，北京鋼研新冶精特科技有限公司董事，中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司獨立董事、沈陽富創精密設備股份有限公司獨立董事；2019年4月至2022年3月，擔任公司獨立董事。

8、宋雷先生，1968年6月出生，中國國籍，無境外永久居留權，研究生學歷，金融學專業，高級會計師。1992年8月至1996年8月，擔任遼寧資產經營公司經理；1996年9月至2001年1月，擔任遼寧省財政廳下屬遼寧會計師事務所（遼寧第一資產評估事務所）評估主任、所長；2001年2月至2003年6月，擔任北京六合正旭資產評估公司副總經理；2003年7月至2013年9月，擔任遼寧中水國地資產評估有限責任公司董事長兼總經理；2013年10月至今，擔任北京國融興華資產評估有限責任公司遼寧分公司負責人；現任遼寧中水工程造價咨詢有限公司執行董事兼總經理、中天證券股份有限公司獨立董事等；2019年4月至2022年3月，擔任公司獨立董事。

9、鐘宇先生，1970年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，大學本科學歷，經濟法專業，三級律師。1992年8月至1994年4月東北制藥集團沈陽第五制藥廠法務；1994年4月至1998年11月，遼寧騰達律師事務所律師；1998年11月至2002年4月，遼寧同文律師事務所律師、合伙人、副主任；2002年4月至今，北京隆安（沈陽）律師事務所律師、高級合伙人、管委會主任。