1、宗潤福先生，1964年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，男，研究生學歷，工業企業電氣自動化專業，二級研究員，享受國務院政府特殊津貼，曾獲得國家科技重大專項突出貢獻獎、遼寧省優秀新產品獎勵一等獎、遼寧省科學技術獎勵二等獎、遼寧省優秀專家等多項殊榮。宗潤福先生自1988年5月至1993年9月，先后擔任中國科學院沈陽自動化研究所控制工程部工程師、造價組組長；1993年10月至1995年9月，擔任控制工程部副組長；1995年10月至1999年2月，擔任中國科學院沈陽自動化研究所控制工程部主任；1999年3月至2002年11月，擔任中國科學院沈陽自動化研究所科技處處長、室主任；2002年12月至2019年3月，任芯源有限總經理、董事、董事長；自2019年3月至今，任公司董事長兼總裁。

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2、陳興隆先生，1976年8月出生，中國國籍，男，研究生學歷，獲博士學位，機械與航空工程專業，高級工程師，入選遼寧省“興遼英才計劃”創新領軍人才。2005年10月至2014年1月，于美國應用材料擔任資深工程經理；2014年3月至2017年3月，于韓國三星電子公司生產技術研究所擔任首席工程師；2017年5月至2018年1月，于SEMES?America?Inc.擔任技術創新官；2018年3月至2019年3月，擔任芯源有限副總經理、首席技術官；2019 年 3 月至 2022 年 3 月，擔任公司董事、副總裁、首席技術官。自 2021 年 2 月起，擔任上海芯源微企業發展有限公司執行董事、法定代表人。

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3、李風莉女士:1966年8月出生,中國國籍,無境外永久居留權,本科學歷,會計師,自1989年7月至1992年8月,擔任沈陽車床研究所設計員;1992年9月至1995年8月,擔任沈陽日匯電子有限公司職員;1995年9月至2002年12月,擔任沈陽勁達有限公司財務經理;2003年1月至2019年3月,擔任芯源有限財務部部長、財務總監;2011年1月至2019年3月,擔任芯源有限副總經理;2019年3月至2022年3月,擔任公司副總裁、財務總監、董事會秘書;現任公司副總裁、董事會秘書。?

4、顧永田先生，1981年11月出生，中國國籍，無境外永久居留權，男，研究生學歷，車輛工程專業，中級工程師。2008年6月至2015年6月，于三一集團有限公司擔任制造部長助理、研究所長、商務部長；2015年7月至2019年3月，歷任芯源有限產品實現部部長、部門總監；2017年7月至2019年3月，擔任芯源有限副總經理；2019年3月至今，擔任公司副總經理。

5、汪明波女士，1982年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，女，碩士研究生學歷。歷任芯源有限高端封裝事業部部長，市場發展部總監，光刻事業部總經理；現任公司光刻事業部總經理。2021年4月至今，擔任公司副總裁。

6、崔曉微女士，1985年3月出生，中國國籍，無境外永久居留權，女，碩士研究生學歷。歷任芯源有限總經理秘書、科技管理部副部長、綜合資源部部長、公共資源部總監、總裁助理。2021年2月至今，任公司子公司上海芯源微副總經理。2021年4月至今，擔任公司副總裁。

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7、張新超先生，1981年11月出生,中國國籍,無境外永久居留權,碩士學歷,注冊會計師,高級會計師,2004年起至2011年6月,于東軟集團歷任行業管理會計、開發成本會計主管、高級財務分析師、高級財務經理;2011年6月至2013年7月任東軟熙康財務與經營部部長,2013年7月至2015年6月,任沈陽機床財務控制部部長;2015年6月至2016年5月任神州高鐵財經管理部部長;2016年6月至2020年12月任美行科技財務總監。2021年1月至今,擔任沈陽芯源微電子設備股份有限公司計劃財務部部長、總監。?

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8、程虎先生，1988年1月出生，中國國籍，無境外永久居留權，本科學歷，機械工程及自動化專業，高級工程師，曾榮獲遼寧省科學技術一等獎、遼寧省科學技術二等獎、第六屆全國專業技術人才先進集體獎等獎項。2012年6月至2022年5月，歷任公司機械工程師、部長助理、產品設計部副部長、前道事業部常務副總經理、研發中心主任、高產能涂膠顯影設備突擊隊主任；2022年5月至今，擔任公司前道設計部總監。

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9、劉書杰先生，1990年12月出生，中國國籍，無境外永久居留權，研究生學歷，經濟學碩士。2015年7月至2020年11月，于國信證券股份有限公司從事投資銀行業務，保薦代表人；2020年11月至2021年11月，于平安證券股份有限公司從事投資銀行業務，保薦代表人；2021年11月至今，歷任公司證券投資部總監、證券事務代表、董事會秘書。